税 目：90278011
商品名称：集成电路生产用氦质谱检漏台
商品描述：
子目9027.8011集成电路生产用氦质谱检漏台，是集成电路生产中采用氦作示漏气体进行检漏的质谱计。用于检测元器件密封或封装的质量，它是真空检漏中灵敏度最高和应用最普遍的一种检漏仪器。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电子电路三大部分组成。
质谱室是氦质谱检漏仪的关键部件，它主要由离子源、分析器和接收器组成。氦质谱检漏仪基本上属于磁偏转质谱计。
由于质谱室必须在高真空条件下工作，仪器的真空系统是一高真空抽气机组，它主要由机械真空泵、油扩散泵或涡轮分子泵，冷阱(有些仪器没有)，真空阀门以及真空计等组成。
仪器的电子电路部分主要由质谱室工作稳定电源、离子流测量放大器，音响与灯光报警装置、真空系统电源以及控制电源等组成。采用微处理机可使氦质谱检漏仪的整个检漏过程实现自动控制和操作。
